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飞秒激光加工依托超短脉冲激光与材料的非线性相互作用完成微纳改性、刻蚀、直写成型，区别于常规纳秒激光的热烧蚀加工模式，飞秒激光加工过程中能量作用材料的时长极短，电子吸收光子能量后快速完成物质剥离，晶格来不及产生热传导扩散，加工区域周边不会出现熔融、裂纹、残余应力等问题，适配玻璃、蓝宝石、特种陶瓷、光纤等各类热敏感硬脆材料的精密加工需求。杭州玉之泉精密仪器有限公司自主研发 FSD 系列硬脆体飞秒激光加工系统，整套设备兼顾科研试样打样与工业批量制备，覆盖飞秒激光加工多类主流应用场景，设备研发依托高校光学实验室技术积累，多次参与国内光学产业技术创新项目，相关加工技术获得行业相关荣誉认可。
整套飞秒激光加工系统以大理石龙门作为主体承载框架，搭配被动气浮隔振结构，规避地面震动干扰飞秒激光加工的定位精度，内部集成多波段激光输出光路，基础配置输出 1030nm 红外激光，可按需加装二倍频 515nm 绿光、三倍频 343nm 紫外光路，拓展飞秒激光加工适配的材料品类。设备内置三维矢量运动控制系统，支持导入外部制图软件生成的二维、三维图形文件，系统自动规划激光扫描路径，加工过程中同步完成激光能量动态调节，针对图形不同区域调整曝光剂量，保障飞秒激光加工成型结构的尺寸均匀性。
在光纤光栅制备场景下开展飞秒激光加工时，设备可切换专用光纤加工工位，搭配自动卷纤组件完成超长光纤连续刻写；针对光学晶圆、薄片玻璃等平面硬脆材料的飞秒激光加工，可更换大面积玻璃吸附工件台，稳定固定四英寸以内尺寸样品。设备搭载五百万像素以上成像相机，搭配多规格显微物镜，加工全程同轴实时观测材料表面状态，工作人员可随时调整扫描速度、脉冲重复频率等运行条件，优化飞秒激光加工成品的微观形貌。
设备长期稳定运行依赖标准化的保养流程，开展飞秒激光加工作业前后，需要清理加工腔体内部的材料碎屑，碎屑堆积会散射激光光束，降低飞秒激光加工的光斑质量；光学物镜、能量调节镜片属于精密损耗部件，擦拭只能使用配套无尘擦拭纸与专用光学清洁液，禁止普通纸巾直接接触镜面造成划痕。气浮隔振单元需要定期检查气压供给，气压不足会削弱隔振效果，引发飞秒激光加工线条边缘出现锯齿状缺陷。设备闲置超过三天时，需要关闭激光光源，保持腔体内部干燥通风，避免水汽附着光学元件产生霉斑，影响后续飞秒激光加工的稳定性。同时系统软件具备运行日志记录功能，每次飞秒激光加工完成后留存工艺参数，便于后续同类工件加工时直接调取参考，缩短工艺调试周期。
有关信息请见：https://www.chem17.com/st675557/product_39625727.html
飞秒激光加工|杭州玉之泉精密仪器有限公司